한국생산기술연구원 서남실용화본부 나노기술직접센터는 총 98억원을 투자해 ‘MEMS 기반 고부가 광반도체 상용화 인프라구축’ 사업을 성공적으로 완료하고 본격적인 가동에 들어갔다고 15일 밝혔다.

한국광융합산업진흥회에 따르면 해당 사업은 광반도체 산업의 발전을 위해 MEMS 기반 광반도체의 개발, 실증, 시험 및 평가 인프라를 구축하고 국내 제품의 고도화 및 글로벌 시장 진출을 촉진하는 것을 목표로 지난 2020년 6월부터 2023년 9월까지 국비 69억원, 시비 29억원 등 총 98억원의 사업비를 투자했다.

이 사업에서 핵심 장비로 PE-CVD, Deep RIE, Stepper 등을 8인치 대응 장비로 신규 구축해 일괄 공정 라인을 완성했으며 이를 통해 지역 내 MEMS 센서 및 5G 대응 소자 등 광반도체 관련 중소기업의 기술 수준이 크게 향상될 것으로 기대된다.

사업 기간 광주지역 내 광반도체 관련 수혜기업은 매출 174억(7%), 고용 인력 56명(8.7%) 이상 증가하는 등 성과를 거뒀다.

특히 ㈜프로는 하이브리드 광모듈 신제품으로 20억원의 매출을 기록하며 지난해 7월에는 산업부 장관상을 받았다. 또 ㈜MEMS는 수소센서 개발 및 사업화로 올해 CES에서 중소기업 혁신상을 받았다.